【覓跡尋蹤潛力股】由於半導體晶圓廠(IC)生產需求越來越大必須使用化學機械平坦化(CMP),而CMP機台則需要關鍵耗材CMP拋光基板(又稱研磨盤),伴隨著上品CMP拋光基板PTFE塗層需求持續增長。

 《覓跡尋蹤潛力股"上品"系列》 由於半導體晶圓廠(IC)生產需求越來越大必須使用化學機械平坦化(CMP),而CMP機台則需要關鍵耗材CMP拋光基板,伴隨著上品CMP拋光基板PTFE塗層需求持續增長。例如Applied Materials集團Mirra CMP拋光基板(又稱研磨盤)採用上品PTFE塗層(示意圖) https://fsv.cmoney.tw/cmstatic/notes/content/25001/20231015025012436.jpg 所謂上品CMP拋光基板PTFE塗層 http://www.ascjx.com/content/?410.html 主要用於半導體晶圓廠化學機械研磨(CMP)機台。研磨盤以氟素樹脂PTFE塗層,使能耐酸鹼腐蝕,並於塗層後再進行精密表面研磨加工,使研磨盤表面平整、光滑,使能更安心使用。關於上品CMP拋光基板(又稱研磨盤)PTFE塗層簡介 file:///C:/Users/User/Downloads/CMP%20Polishing%20Plate%20Coating%20(1).pdf  (示意圖1) https://fsv.cmoney.tw/cmstatic/notes/content/25001/20231016000014635.PNG (示意圖2) https://fsv.cmoney.tw/cmstatic/notes/content/25001/20231016000056342.PNG 關於CMP製程特點,CMP機台設備正常運作過程中,除了需要使用研磨液、研磨墊等通用耗材外,設備本身的研磨盤、夾持環、氣膜、清洗刷、鑽石碟等關鍵耗材也會快速損耗,必須進行定期維保更新。另外,CMP機台設備也是晶圓再生的核心製程設備之一,晶圓再生製程主要是對控擋片進行去膜、粗拋、精拋、清洗、檢測等工序處理, 使表面平整化、無殘留顆粒;其中精拋及部分清洗是透過CMP機台設備來完成。晶圓再生業務的技術困難主要在於對再生晶圓表面平整度、缺陷和晶圓表面的奈米級顆粒殘留、金屬離子殘留的控制要求極高,這些要求主要透過CMP機台設備來實現, 因此CMP製程和技術是晶圓再生製程的核心,CMP機台設備也是晶圓再生製程產線中資金投入最大的設備。關於Applied Materials(AMAT)應用材料集團 https://www.appliedmaterials.com/ 是全球最大CMP機台製造商。關於上品 https://www.alliedsupreme.com/tw/ 是全球最大化學品槽車製造商。也是亞洲最大鐵氟龍內襯設備製造商。更是(Dupont-杜邦)Teflon®鐵氟龍在台灣的指定工廠生產供應*杜邦-Chemours)Teflon PFA板材。上品簡介視頻演示 https://www.youtube.com/watch?v=y7m8J1a16RE 主要產品有三大類:(一)氟素樹脂應用材料:(a) 內襯板材與素板系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-TEFPASS_Lining_sheet 主要應用於內襯設備/內襯槽車/桶槽/熱交換器/塔槽/內襯過濾裝置。(b) 內襯直管用管材系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-Pipe_Liner 主要應用於熱交換器/內襯直管與管件。(c) PFA厚板與圓棒系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-PFA_Thick_Sheet_and_Rod (d)PFA Fitting接頭系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-PFA_Fitting 以上氟素樹脂材料包含氟襯管(含輸液軟管/閥件)、氟襯塗裝、氟素射出成型品、氟素管材、氟素板材、氟素複合板材、氟素膜片、氟素焊材、氟素棒材等。(二)氟素樹脂內襯設備 : https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-Sheet_Lining 內襯槽車系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-ISO_CONTAINER 塔節系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-TEFPASS_Seamless_Column 採用加厚的PTFE、M-PTFE管,並以特殊的成型工法,使管嘴和本體一體成型無須焊道,新型無焊道塔節應用於化工廠及高滲透化學品製程。熱交換器系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-Immersion_Coil_&_Shell_&_Tube_Type_Heat_Exchanger 內襯過濾裝置系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-TEFPASS_EL_Grade_Chemical_Filter_Housing 主要應用於過濾強酸、強鹼,內襯氟素樹脂可避免酸鹼液體直接接觸不銹鋼,提高使用壽命。內襯直管與管件(PFA)系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-TEFPASS_Lined_Pipe_&_Fittings_(PFA) 蛇管(軟管)系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-TEFPASS_Flexible_Hose 主要應用於電子級化學品運輸專用槽車。以上內襯設備包含內襯桶槽、內襯槽車、內襯集合式過濾器、內襯管殼式熱交換器、內襯塔槽、內襯塔節、供酸系統設備及程控、電子化學品純化設備及程控等。(三)氟素樹脂塗裝:https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-TEFPASS_Coating 為國內第一套無塵室氟素樹脂塗裝技術可採液體塗裝及靜電粉體塗裝兩種方式。氟盾系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-Fluoroshield 回轉成型滾塑和滾襯系列 https://www.alliedsupreme.com/tw/product/product_view-Rotomolding_&_Rotolining (四)氟素工程 : 各式電子化學品儲存、管道配管、設備儀電系統、廢溶劑回收再利用整合系統及監造工程等。以及滿足氟素樹脂在各個領域的使用需求,擴展應用範圍的客製化產品 : 1.TEFPASS® PTFE微粉- 作為添加劑應用於塑膠類、彈性體、油墨、塗料等。2. TEFPASS® PTFE複合材料-作為填充料應用於複合軸承、防塵密封件、電池複合材(用於鋰電池粘結劑和隔膜及超級電容粘結劑)、高頻基板(取代FR-4環氧樹脂)、玻璃纖維(用於機器軸心/墊圈/球閥密封墊片/襯套)、玻纖+二硫化鉬(可增加耐磨耗性、拉伸強度與延伸率)、青銅粉(用於橋梁支撐零件/軸承類配件)、石墨(用於軸承配件)、碳纖(用於高溫軸承/自動活塞/密封件/空壓設備自動零件)、氟塑膜(ETFE)用於無塵室的煙霧或排氣管道系統。3. TEFPASS® PFA射出成型-作為晶圓清洗盒以及其它各式注塑產品等。4. TEFPASS® 四方槽、溢流槽-作為IC/Solarcell濕式清洗機台用( PTFE、PFA HP…) 溢流槽、四方槽、角槽等。後續值得覓跡尋蹤留意。PS特別提醒:本分享文僅供參考,不具投資建議,請自行判斷買賣時機與承擔風險,並自負盈虧。

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